装置名称　  ：　マルチフォーカスX線検査装置　Cheetah EVO

ナノフォーカス／マイクロフォーカス／ハイパワーモード切替

対応検査　  ：　2D透視、3D CT、斜めCT（micro3Dslice）

分解能       ：  サブミクロン（<0.８μm）

最大サンプルサイズ   ：800mm×500mm

最大観察可能エリア   :□460×410mm

「３D観察機能」　：

360度回転で断層画像取得（CT）

非破壊で内部状態を立体的に観察

2Dでは見えない重なりや奥行き情報取得