EQUIPMENT LIST設備一覧

故障解析

  • 電子顕微鏡（FE-SEM）

    日立ハイテクノロジーズ

    分解能：
    1.0nm(加速電圧15kV、WD=4mm)
    1.4nm (照射電圧1kV　WD=1.5mmRM）
    2.0nm (加速電圧1kV、WD=1.5mmSM)

    故障解析、成分分析

  • X線観察装置

    DAGE

    認識解像度：0.25μm
    最大検査範囲：458×407mm
    最大サンプル重量：5kg
    幾何学倍率：1600倍
    I.I管傾斜角：0～70ﾟ

    X線観察、不具合解析、はんだのボイド観察

  • 蛍光X線分析装置

    HORIBA

    "世界最小Ø10μmプローブ搭載
    ■スマートマッピング採用、ナビゲーション機能、多点分析（連続1000点）"
    異物分析/有害元素スクリーニング
    検出元素：Na～U
    試料室環境　：　大気・真空　切替可能

    異物分析/有害元素スクリーニング